DPSSレーザ（半導体レーザ励起個体レーザ）は、励起に半導体レーザを使用するためコンパクト、高エネルギー効率、高安定といった特徴があります。 また、ビーム品質に優れると共に、非線形光学結晶を使うことにより紫外から可視域にわたる様々な波長帯のレーザ光が得られます。